供應(yīng)日本SMC磁性開關(guān),MDBD63-150-XC5

系列/CAD 閥形式 使用流體 配管連接方式 配管尺寸
XVD  常斷
（加壓通/彈簧密封） 氮氣、空氣、惰性氣體等 VCR®
Swagelok® 1/4B
特長 •閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來的1/4。
•（閥芯）座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。
• 伴隨主供氣初期供氣可進行流量調(diào)整。
 系列/CAD 使用壓力范圍 （Pa） 使用流體 門尺寸
（×寬） （mm） 動作壓力
（MPa）
XGT  大氣壓～1×10-6 惰性氣體系的真空 32×222
46×236
50×336 0.45～0.6
特長 •對于半導體裝置等場合、適合于負載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。
系列 SV1000 SV2000 SV3000 SV4000

使用流體 空氣
內(nèi)部導式
使用壓力范圍
MPa
2位單電控
4位雙3通閥
2位雙電控
3位閥
外部導式
使用壓力范圍
MPa
使用壓力范圍
2位單電控、雙電控
3位閥
環(huán)境溫度及使用流體溫度℃
Z大作動頻度
Hz
2位單電控、雙電控
4位雙3通閥
3位閥
0.15~0.7
0.1~0.7
0.2~0.7
-100kPa~0.7
0.25~0.7
5
3
   響應(yīng)時間
       ms
（0.5MPa時）
2位單電控
2位雙電控
3位
4位雙3通閥
11以下
10以下
18以下
15以下
25以下
17以下
29以下
33以下
28以下
26以下

供應(yīng)日本SMC磁性開關(guān),MDBD63-150-XC5